"Cyclically Operated Microwave Single-Photon Counter with Sensitivity of <mml:math xmlns:mml=""http://www.w3.org/1998/Math/MathML"" display=""inline"" overflow=""scroll""><mml:msup><mml:mn>10</mml:mn><mml:mrow><mml:mo>−</mml:mo><mml:mn>22</mml:mn></mml:mrow></mml:msup><mml:mspace width=""0.2em""/><mml:mrow><mml:mi mathvariant=""normal"">W</mml:mi></mml:mrow><mml:mo>/</mml:mo><mml:msqrt><mml:mi>Hz</mml:mi></mml:msqrt></mml:math>"